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期刊论文
集成电路制造工艺中ESD IMP技术及其应用
集成电路制造工艺中ESD IMP技术及其应用
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kxf2000
【摘 要】
:
ESD NMOS需要进行ESD IMP离子注入,目的是降低NMOS漏端与PW的击穿电压。为了提高器件的ESD防护能力,工艺上发展出ESD IMP工艺技术,同时设计出ESD器件。ESD IMP工艺技术是在原
【作 者】
:
温德通
【机 构】
:
西安电子科技大学,晶门科技(深圳)有限公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2017年12期
【关键词】
:
集成电路制造
离子注入
电流驱动
器件防护
ESD
integrated circuit manufacturing
ion implantation
cu
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ESD NMOS需要进行ESD IMP离子注入,目的是降低NMOS漏端与PW的击穿电压。为了提高器件的ESD防护能力,工艺上发展出ESD IMP工艺技术,同时设计出ESD器件。ESD IMP工艺技术是在原先的工艺中增加一道ESD IMP,所以需要一层额外的Mask光罩。
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