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利用等离子辅助分子束外延技术，在蓝宝石c-平面上外延生长了ZnO单晶薄膜。原位反射式高能电子衍射结果表明，在650℃时样品为平整的表面。但X射线衍射测量表明，在此温度下添加Mg源生长的MgxZn1-x^O合金薄膜，随Mg量的增加很快经历了六角相-混合相-立方相的相结构转变，这与扫描电子显微照片的直观结果相对应。分析指出该结果是由生长温度和Ⅱ、Ⅵ族元素的化学剂量比共同决定的。