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期刊论文
基于MEMS的微型泵技术研究
基于MEMS的微型泵技术研究
来源 :中国医疗器械杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qian_betty
【摘 要】
:
基于硅微结构的微流体控制系统--微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子、航空等领域.综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究
【作 者】
:
崔建国
郑小林
侯文生
彭承琳
【机 构】
:
重庆大学
【出 处】
:
中国医疗器械杂志
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
微机电系统(MEMS)
微流体控制系统
微型泵
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基于硅微结构的微流体控制系统--微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子、航空等领域.综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法.
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