【摘 要】
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两抛光平面间的平行差通常根据其精度要求和特点采用干涉仪或度盘仪器(如测角仪)测量。但是,干涉方法用于测量不透光部件是不便利的,而度盘仪器结构复杂,造价昂贵。本文介绍
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两抛光平面间的平行差通常根据其精度要求和特点采用干涉仪或度盘仪器(如测角仪)测量。但是,干涉方法用于测量不透光部件是不便利的,而度盘仪器结构复杂,造价昂贵。本文介绍的激光反射法是根据反射原理,利用激光良好的方向性,通过被测件
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