操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:youki2008
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在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题.这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向.本文归纳和总结了微/纳米操作技术方面的最新研究进展,并按照各种微/纳米镊的工作原理进行分类,分别对基于机械、水力学、电、磁、声、光、热以及这些效应的组合发展起来的微/纳米操作技术进行了评述,特别介绍了其中的一些典型应用.可以看到,微/纳米镊技术的发展,将给微小世界的研究和应用增添更多强有力的工具.
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