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脉冲激光薄膜沉积是近年来受到普遍关注的制膜新技术。简要介绍了脉冲激光薄膜沉积技术的物理原理、独具的特点和研究发展动态，并介绍了采用脉冲激光薄膜沉积技术制备硅基纳米ＰｔＳｉ薄膜的结果。
脉冲激光薄膜制备技术
【摘 要】
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脉冲激光薄膜沉积是近年来受到普遍关注的制膜新技术。简要介绍了脉冲激光薄膜沉积技术的物理原理、独具的特点和研究发展动态，并介绍了采用脉冲激光薄膜沉积技术制备硅基纳米
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2000年2期
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