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建立了调Q激光烧蚀具有升华特性物质的数学模型，据此模型计算了不同脉宽与峰值功率的调Q激光烧蚀氮化硅的去除效率，结果表明，更高的峰值功率与更短的脉宽有利于减小激光烧蚀的热影响区及保持烧蚀表面的质量完整。计算结果与试验结果趋向一致。
调Q激光烧蚀具有升华特性物质的模型及应用
【摘 要】
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建立了调Q激光烧蚀具有升华特性物质的数学模型，据此模型计算了不同脉宽与峰值功率的调Q激光烧蚀氮化硅的去除效率，结果表明，更高的峰值功率与更短的脉宽有利于减小激光烧蚀的热
【机 构】
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湖南大学激光研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年4期
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