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利用Ar/BCl3、Cl2/BCl3和SF6/BCl3感应耦合等离子体（ICP）,研究了蓝宝石（Al2O3）材料的干法刻蚀特性。实验表明,优化BCl3含量（80%）,可以提高对Al2O3衬底的刻蚀速率;在BCl3刻蚀气体中加入20%的Ar气可以在高刻蚀速率下同时获得优于未刻蚀Al2O3衬底表面的光滑刻蚀表面和较好的刻蚀侧壁,原子力显微镜（AFM）分析得到最优刻蚀平整度为0.039nm,俄歇电子能谱（AES）分析其归一化Al/O原子比为0.94。