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在近场光学显微镜的研制过程中，制备合适的探针是一个重要的环节。在腐蚀法制得的光纤光端附近镀铝膜后，采用扫描电子显微镜中的样品充电效应可检测出探针透光点的分布情况，亦可直接用电镜观察膜表面的均匀性，这对提前剔除不良探针有重要作用。结果该方法有效可行。
镀膜光纤探针无透性的一种检测方法
【摘 要】
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在近场光学显微镜的研制过程中，制备合适的探针是一个重要的环节。在腐蚀法制得的光纤光端附近镀铝膜后，采用扫描电子显微镜中的样品充电效应可检测出探针透光点的分布情况，亦可直接用电镜观察膜表面的均匀性，这对提前剔除不良探针有重要作用。结果该方法有效可行。
【机 构】
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云南大学物理系(昆明)
【出 处】
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中国光学学会全息专委会年会
【发表日期】
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1999年12期
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