采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布

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给出由重叠反冲能谱计算氢和氘的浓度及深度分布的解谱技术,用4.5MeV和4.2MeV的α粒子作入射粒子得到两个反冲能谱。在考虑和不考虑能量展宽效应的情况下分析了钛膜中氢和氘的深度分布;发现考虑能量展宽效应的影响得到的氢和氘的深度分布是令人满意的。
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