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气体纯化作为电子工业气体制造过程中的关键技术内容,完善纯化技术研究具有十分重要的作用,更是促进我国工业制造业发展的重要技术之一。结合电子行业中对工业气体的实际需要,探究气体纯化技术存在的困难,分析氮气、氢气运用纯化技术制造的相关内容,希望能够对未来技术发展提供借鉴和帮助。
电子工业用9N气体纯化技术的研究与应用
【摘 要】
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气体纯化作为电子工业气体制造过程中的关键技术内容,完善纯化技术研究具有十分重要的作用,更是促进我国工业制造业发展的重要技术之一。结合电子行业中对工业气体的实际需要
【机 构】
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洛阳单晶硅集团有限责任公司
【出 处】
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化工设计通讯
【发表日期】
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2018年06期
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