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首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺．设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺．利用硅的各向异性湿法腐蚀等MEMS体加工技术，简化了该微陀螺的制作工艺．该微结构的对称性、一致性和加工精度有很大改善，尤其是振动梁、激励部件和敏感部件等关键部件．详细阐述了该微陀螺的工作原理和结构设计，完成了微陀螺关键部件的制作和样机组装．利用NF公司的FRA5087频率响应分析仪测试了样机大气下的振动模态，其中驱动频率为5．5632kHz，检测频率为5．5534kHz，频差为9．8Hz，小于0．2％．利用频