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研究了Lu2Ti2O7薄膜的结构、制备和性能.以Si作为基体,采用溶胶凝胶法研究了各种因素：煅烧温度、保温时间、转速和涂层的数量等对薄膜质量包括表面均方根粗糙度等的影响,并在此基础上研究了薄膜的电学性能.研究表明：在650～1 050 ℃能够形成Lu2Ti2O7相,在750 ℃时能够获得Lu2TiO5含量较少的理想薄膜.研究同时表明：温度对表面均方根粗糙度影响相对较大.Lu2Ti2O7薄膜电学性能研究表明：保温时间有利于Lu2Ti2O7的低温相变和Lu2TiO5相的形成,但是对薄膜电学性能的影响相对较小.