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基于概率解释算法的原理,提出了一种考虑32艺波动的RLC互连延时统计模型,该模型使用了对数正态分布函数.在给定互连参数波动范围条件下,利用该算法计算延时仅需要采用前两个瞬态.和HSPICE相比,Monte Carlo分析中的均值和平均偏差误差分别低于0.7%和0.51%.模型计算简单且精度高,可以满足互连线仿真要求.