高能物理学利用范德堡法在金刚石对顶砧中精确测量样品电阻率

来源 :中国学术期刊文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chm200630990203
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利用有限元分析方法(FEA)对金刚石对顶砧(DAC)中范德堡法测量极微小样品电阻率的误差进行数值模拟与分析,结果表明,对于极微小样品,电极与样品的接触面积是影响电阻率精确测量的重要网素,测量误差随接触面积的增大而增大,对半导体材料尤其明显.当样品厚度与直径的比值小于0.45,
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