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针对无线通信和微机械传感器系统对时钟相位噪声的要求,设计了一种高精度低温漂的振荡器电路设计。利用Leeson线形相位噪声模型分析相位噪声,降低了主要噪声源,达到优化相位噪声的目的。该电路在华润上华0.18μm工艺平台上流片验证。测试结果显示,电源电压在2.2~3.6 V变化,温度在-35~85℃变化,频率变化为-2%~＋0.5%;相位噪声-116 d Bc@1 k Hz;4 000个周期的抖动在-1.2%~＋1.2%。该电路已成功集成到微机械陀螺仪控制芯片中。