新型的高精度量块长度测量装置:GLI—100型量块激光干涉仪

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本文所介绍的是最近研制成功的GLI-100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感,电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。
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