【摘 要】
：
ITRS2001规划2004年实现90nm工艺,英特尔、AMD等世界顶级半导体公司将于2003年采用90nm工艺量产微处理器和逻辑器件。这样使ITRS2001整整提前了一年。90nm工艺包括193nm光刻
论文部分内容阅读
ITRS2001规划2004年实现90nm工艺,英特尔、AMD等世界顶级半导体公司将于2003年采用90nm工艺量产微处理器和逻辑器件。这样使ITRS2001整整提前了一年。90nm工艺包括193nm光刻技术、高k绝缘材料、高速多层铜互连技术、低k绝缘材料、应变硅技术和电压隔离技术等新技术。193nm光刻技术是实现90nm工艺达量产的最关键技术,为此,必须采用193nmArFstepper(准分子激光扫描分步投影光刻机)。讨论了90nm工艺达量产的难点,如掩模版成本较高、成品率较低和应用面暂时不宽等。
其他文献
创设“问题情境”教学案例一则江苏／沈嘉祥通过教师或学生的质疑，创设“问题情境”是激起学生求知欲的有效方法和手段。［现象］师：课前周华同学向我反映《义理、考据和辞章》一文第
通过实际测量和匿名调查,调查了683名陕西大学生的身高,用EpiData软件进行数据录入,Spass 13.0软件进行统计分析。结果表明:儿子的身高均值比父代身高均值高1.05cm(t=3.40;p<
通过论证城市污水回用的技术支持,并结合国内目前水源现状,论述了当前污水回用的重大意义及紧迫性与必要性,以具体数据为依据,成功案例为支持,指出污水深度处理的推广对国内
我国银行业监管自2003年银监会成立以来正式步入专业化监管道路,随后全国各地按照属地监管原则逐步建立起银监会派出机构。2004年2月,银监会在东莞市成立属地监管部门,依法承
对如何根据不同工程项目的客观条件,总揽全局,周密合理地设计施工方案,实现施工全过程控制进行了论述,并对如何落实施工组织设计工作进行了探讨,以不断提高铁路工程施工技术
语文作为基础性工具性学科,教授的过程较其他学科而言,更具有独特性和技巧性。要做好新时期的语文教学,教师不仅要善于把握教材的内容性质,还要善于结合学生的年龄及心理特征
结合工程实践,针对项目地下防水的重要性,提出采用JS防水涂料与自粘防水卷材复合施工的方法,不但克服了自粘防水卷材需要基层干燥的施工条件、JS防水涂料很容易破坏的缺点,还
<正>杨红樱,四川省作家协会副主席,中国最畅销的儿童文学作家之一,千万小学生心中的偶像,受出版社、书店追捧的当红作家。从19岁开始发表作品,以写童话起家,已经出版童话、儿
<正>【教学目标】1.培养学生的想象、创新能力。2.指导学生用构思图表的方法,编写卡通人物故事。【教学过程】一、观看卡通故事,激发表达欲望(一)看卡通故事集锦1.同学们,下
利用MSP430单片机作为自动往返小汽车的检测和控制核心,辅以反射式红外传感器、控制电路、显示电路等外围器件,构成了智能小车控制系统,该系统能够完成调速、急刹车、停车、