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从激光与电光会议程序表可明显看到，用激光技术解决半导体加工问题的兴趣日益增长。会议报告包括：怎样用短波长激光器在半导体上制作精细结构——包括分布反馈(DFB)激光二极管所需的精密间距光栅；淀积精细金属线路的激光技术和在整块晶片上制作集成电路等。
用于半导体加工的激光技术
【摘 要】
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从激光与电光会议程序表可明显看到，用激光技术解决半导体加工问题的兴趣日益增长。会议报告包括：怎样用短波长激光器在半导体上制作精细结构——包括分布反馈(DFB)激光二极管所需的精密间距光栅；淀积精细金属线路的激光技术和在整块晶片上制作集成电路等。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1985年22期
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