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研究了IDT／AIN／LiNbO。结构声表面波滤波器的频散特性，发现了高机电耦合系数（〉18％），高声速（〉10km／s）的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟，其结果与文献报道的实验结果基本一致。
IDT/AlN/LiNbO_3结构声表面波滤波器模拟和分析
【摘 要】
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研究了IDT／AIN／LiNbO。结构声表面波滤波器的频散特性，发现了高机电耦合系数（〉18％），高声速（〉10km／s）的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟，其
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2008年6期
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