【摘 要】
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扫描探针显微镜(Scanning probe microscopy,SPM)是显微镜的一个分支,它利用物理探针扫描标本形成样本表面图像。而原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)是SPM中一种多功能的表面成像和测量工具,对导电、不导电、真空中、空气中或流体中的各种样本均可测量。原子力显微镜最面临的最大挑战之一是评估其在表面测量过程中所伴随的不确定度。本研究通过XYZ Phase的标定,对一台光学原子力显微镜进行了校准。该方法旨在克服在评估一些无法实验确定的不确定部件时遇到的困
【机 构】
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国家标准研究所工程与表面计量实验室
【基金项目】
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National Institute of Standards(NIS),11211,Egypt。
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扫描探针显微镜(Scanning probe microscopy,SPM)是显微镜的一个分支,它利用物理探针扫描标本形成样本表面图像。而原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)是SPM中一种多功能的表面成像和测量工具,对导电、不导电、真空中、空气中或流体中的各种样本均可测量。原子力显微镜最面临的最大挑战之一是评估其在表面测量过程中所伴随的不确定度。本研究通过XYZ Phase的标定,对一台光学原子力显微镜进行了校准。该方法旨在克服在评估一些无法实验确定的不确定部件时遇到的困
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