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MEMS的可靠是其能否成功应用的一个关键。本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析，通过对MEMS的可靠怀实验与失效模型的综述，对MEMS的可靠性设计进行了探讨。
MEMS可靠性技术
【摘 要】
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MEMS的可靠是其能否成功应用的一个关键。本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析，通过对MEMS的可靠怀实验与失效模型的综述，对MEMS的可靠性设计进行了
【机 构】
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北京大学微电子所,北京市122信箱9室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2002年3期
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