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期刊论文
一种新型的双桥式压力传感器的研究
一种新型的双桥式压力传感器的研究
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Thunder_
【摘 要】
:
本文提出了一种新型的双桥结构压力传感器两个灵敏度不同的敏感电桥被制作于同一芯片上,通过双桥间的线补,可有效地消除压力传感器的零位和灵敏度温漂。文中给出了具体的算法及
【作 者】
:
张庆鑫
刘理天
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
压力传感器
双桥结构
温漂补偿
Pressure sensors
Double bridged structure
Temperature compensa
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本文提出了一种新型的双桥结构压力传感器两个灵敏度不同的敏感电桥被制作于同一芯片上,通过双桥间的线补,可有效地消除压力传感器的零位和灵敏度温漂。文中给出了具体的算法及相应的实验结果2。
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