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采用透射电镜技术对电弧离子镀制备的NiCoCrAlY涂层的微观组织结构进行了研究，结果表明，电弧离子镀沉积后，在DSM11高温合金基体γ′相中析出大量的弥散纳米γ相颗粒，析出的γ相与γ′相取向相同。γ′晶胞内部出现大量的堆垛层错，涂层与基体界面之间的应力处于一个较低的水平。电弧离子镀方法沉积的NiCoCrAlY涂层具有纳米晶体的结构，且涂层比较致密。真空退火后涂层内部的结合更致密，晶粒明显长大，部分晶粒有孪晶出现，并伴随β-NiAl或CoAl相析出。