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期刊论文
厚膜TiO2氧敏传感器研究
厚膜TiO2氧敏传感器研究
来源 :云南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fukuilover123
【摘 要】
:
通过醇盐水解制备TiO2微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器;用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙度;用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰,提高其催化活性,采用温度自补偿
【作 者】
:
方湘怡
吴文超
【机 构】
:
西安交通大学
【出 处】
:
云南大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
传感器
厚膜工艺
氧
二氧化钛
sensing material
oxygen sensor
TiO2
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通过醇盐水解制备TiO2微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器;用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙度;用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰,提高其催化活性,采用温度自补偿方法提高了器件的高温性能。
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