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本文结合WF6的性质，对超高纯（99．999％）WF6中的金属粒子进行分析。由于WF6具有腐蚀性，而且遇水迅速反应生成WO3和HF,同时金属粒子密度大，只有测定液态WF6中的金属粒子含量结果才是稳定准确的，所以本文设计了一个密闭的半定量取样管路，可以准确的完成对WF6中金属粒子的取样。完成取样后，根据各种金属粒子的溶解性质，将所取金属粒子定量转化为待测溶液，然后利用电感耦合等离子质谱分析即可以得到WF6样品中各种金属粒子的含量。最终分析结果显示，中国船舶重工集团第七一八研究所生产的WF6产品可以满足相关技