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采用非平衡磁控溅射法制备Zr1-xSixN薄膜,利用能谱分析、x射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构、力学性能及摩擦磨损性能进行研究。结果表明,Zr1-xSixN复合膜呈fcc结构,当X小于0.16时,Zr1-xSixN薄膜沿(200)面择优生长,X大于0.16时,薄膜呈(111)择优取向;随x增大,Zr1-xSixN薄膜的硬度逐渐降低,弹性模量先升高后降低,其中Zro96Si004N薄膜的弹性模量最大,为317GPa;随X增大,Zr1-xSixN薄膜的抗氧化性能加强,Zr