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采用非平衡磁控溅射法制备Zr1-xSixN薄膜，利用能谱分析、x射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构、力学性能及摩擦磨损性能进行研究。结果表明，Zr1-xSixN复合膜呈fcc结构，当X小于0．16时，Zr1-xSixN薄膜沿（200）面择优生长，X大于0．16时，薄膜呈（111）择优取向；随x增大，Zr1-xSixN薄膜的硬度逐渐降低，弹性模量先升高后降低，其中Zro96Si004N薄膜的弹性模量最大，为317GPa；随X增大，Zr1-xSixN薄膜的抗氧化性能加强，Zr