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本文介绍了Ａｕ－Ｓｉ ＬＭＩＳ的结构以及源的发射特性，利用Ｅ×Ｂ质量分析器，获得了Ａｕ－Ｓｉ ＬＭＩＳ的质谱图，对实验误差进行了理论分析。
用E×B质量分析器分析Au—Si液态金属离子源（LMIS）的束流成分
【摘 要】
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本文介绍了Ａｕ－Ｓｉ ＬＭＩＳ的结构以及源的发射特性，利用Ｅ×Ｂ质量分析器，获得了Ａｕ－Ｓｉ ＬＭＩＳ的质谱图，对实验误差进行了理论分析。
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1996年4期
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