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本文将通过世界IC工艺装备的发展趋势和国内现状的分析,从十五"863"重大专项的角度,对我国的IC装备发展战略进行探讨.提出以10nm的光刻机等关键设备为战略目标,以自主技术创新突破和产业化为目的,实现我国IC装备技术和产业的跨越式发展.
我国“十五”期间IC制造装备的发展战略研究
【摘 要】
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本文将通过世界IC工艺装备的发展趋势和国内现状的分析,从十五"863"重大专项的角度,对我国的IC装备发展战略进行探讨.提出以10nm的光刻机等关键设备为战略目标,以自主技术创
【机 构】
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清华大学制造工程研究所
【出 处】
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机器人技术与应用
【发表日期】
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2002年2期
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