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采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作。采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的（110）面均有较大的改善,并且抛光不影响器件的结构,最后制作出了均匀一致的光开关阵列扭臂驱动结构。