【摘 要】
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采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶（PET）针刺毡表面沉积了纳米结构Cu薄膜,利用X 射线衍射仪（XRD）对薄膜的组分和结晶状态进行了分析,用原子力显微镜（AFM）分析了不同溅射工艺参数对纳米C
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2012AA030313）,2012江苏科技支持计划（工业）资助项目（SBE201201094）
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采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶（PET）针刺毡表面沉积了纳米结构Cu薄膜,利用X 射线衍射仪（XRD）对薄膜的组分和结晶状态进行了分析,用原子力显微镜（AFM）分析了不同溅射工艺参数对纳米Cu薄膜微观结构和颗粒直径的影响,并较为系统地分析了溅射功率、工作气压和沉积时间对镀铜PET针刺毡导电性能的影响.结果表明,增大溅射功率,镀铜PET针刺毡导电性和Cu膜均匀性变好,但应控制在6kW以下;随工作气压的增大,薄膜方块电阻先减小后增大,薄膜厚度更加均匀;随着沉积时间的延长,Cu粒子的直径增大,Cu膜的导电性和均匀
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