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摘要：光刻设备（曝光机）因其单价最贵，精度最高，在TFT-LCD工艺中起着举足轻重的作用。其原理是通过照射特定紫外光源，透过掩膜版并在涂有光刻胶的玻璃基板上光刻形成特定的TFT图案。其主要采用高压水银灯作为紫外光源（图1）。曝光灯为一次性消耗品，更换周期短，价格贵，成本花费十分高昂。因此如何能够降低高压水银灯的成本成了最关键的课题。
关键字： 曝光机；曝光灯；高压水银灯；电流保护；延寿；单效
一、引言
曝光灯灯壁为脆薄的玻璃气泡，点灯时内部温度较高，在延寿时极易发生因电流急剧上升而导致Hg Lamp爆裂。Lamp爆裂会造成Lamp Box里部件损坏，更换费用高昂，产能损失严重。而且汞蒸气泄露容易造成人员伤害，安全风险很高。本论文从以下三个方面进行分析研究，在控制风险的同时将成本也降至最低。
二、通过曝光灯延寿实现成本降低
Lamp爆裂主要由于瞬间电流急剧上升导致，为降低延寿带来的爆裂风险，可以在Lamp控制单元增加电流保护装置进行有效预防。其可通过对每个灯箱电流进行持续监控，一旦电流超过危险阈值时，自行对Lamp进行断电，从而起到保护作用（见图2）。通过加装该装置，曝光灯可以延寿至无法达到目标功率为止，可见其收益十分可观。
三、通过单效对比实现成本降低
为了降低曝光灯的采购成本，普遍导入了二元化厂家的灯。购买哪家才是最优方案呢？我们可以通过对延寿数据进行单效对比，得到所需的最佳采购方案。通过表1可以看出，厂家A的灯虽然是单价最贵，但其成本是最低的（平均寿命最长，单效最低，品质最好）。
四、通过曝光旧灯回收利用实现成本降低
在已实现曝光灯延寿的前提下，可以将部分旧灯筛选后回收利用（只达到设计寿命而未进行延寿），同样可能会节省一大笔费用。在计算收益的同时，需评估其中隐形的经济损失。如果延寿时间较短，换灯次数必然增加，造成的產能损失势必也会增加。如果延寿时间较长，该方法一定会带来十分可观的成本降低。需根据不同设备状态检讨可行性方案（表2）。
五、结束语
本论文主要通过降低曝光灯爆裂风险来实现成本降低。其他两项作为延寿的辅助方案，从不同侧面也达到了成本节约的目的。这三种方案可操作性强，已在实际生产管控中到达运用，并且也达到了预期的收益。
参考文献：
[1]上田.BOE-HF向けMPAsp-E722T製品仕様書_訂01 [J].キヤノン株式会社，2009，9：訂番01.
[2]上田.BOE-HF向けMPAsp-E732T製品仕様書_訂01 [J].キヤノン株式会社，2009，9：訂番01.
（作者单位：南京中电熊猫平板显示科技有限公司）
关键字： 曝光机；曝光灯；高压水银灯；电流保护；延寿；单效
一、引言
曝光灯灯壁为脆薄的玻璃气泡，点灯时内部温度较高，在延寿时极易发生因电流急剧上升而导致Hg Lamp爆裂。Lamp爆裂会造成Lamp Box里部件损坏，更换费用高昂，产能损失严重。而且汞蒸气泄露容易造成人员伤害，安全风险很高。本论文从以下三个方面进行分析研究，在控制风险的同时将成本也降至最低。
二、通过曝光灯延寿实现成本降低
Lamp爆裂主要由于瞬间电流急剧上升导致，为降低延寿带来的爆裂风险，可以在Lamp控制单元增加电流保护装置进行有效预防。其可通过对每个灯箱电流进行持续监控，一旦电流超过危险阈值时，自行对Lamp进行断电，从而起到保护作用（见图2）。通过加装该装置，曝光灯可以延寿至无法达到目标功率为止，可见其收益十分可观。
三、通过单效对比实现成本降低
为了降低曝光灯的采购成本，普遍导入了二元化厂家的灯。购买哪家才是最优方案呢？我们可以通过对延寿数据进行单效对比，得到所需的最佳采购方案。通过表1可以看出，厂家A的灯虽然是单价最贵，但其成本是最低的（平均寿命最长，单效最低，品质最好）。
四、通过曝光旧灯回收利用实现成本降低
在已实现曝光灯延寿的前提下，可以将部分旧灯筛选后回收利用（只达到设计寿命而未进行延寿），同样可能会节省一大笔费用。在计算收益的同时，需评估其中隐形的经济损失。如果延寿时间较短，换灯次数必然增加，造成的產能损失势必也会增加。如果延寿时间较长，该方法一定会带来十分可观的成本降低。需根据不同设备状态检讨可行性方案（表2）。
五、结束语
本论文主要通过降低曝光灯爆裂风险来实现成本降低。其他两项作为延寿的辅助方案，从不同侧面也达到了成本节约的目的。这三种方案可操作性强，已在实际生产管控中到达运用，并且也达到了预期的收益。
参考文献：
[1]上田.BOE-HF向けMPAsp-E722T製品仕様書_訂01 [J].キヤノン株式会社，2009，9：訂番01.
[2]上田.BOE-HF向けMPAsp-E732T製品仕様書_訂01 [J].キヤノン株式会社，2009，9：訂番01.
（作者单位：南京中电熊猫平板显示科技有限公司）