论文部分内容阅读
通过磁控溅射离子镀方法（MSIP）对高速钢W18Cr4V进行镀TiN膜，采用D／MAX-ⅢB型X射线衍射仪、膜厚测量仪、HV-1000显微维氏硬度计、LKDM-2000型摩擦磨损仪和S-3000N型扫描电子显微镜对经表面改性过的试样组织、膜厚、硬度和耐磨性进行研究，并对镀膜时间、氮分压和溅射电流等工艺参数对TiN涂层的组织、厚度、硬度和耐磨性的影响进行分析。确定了镀膜层综合性能最好的工艺方案。