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物镜的分辨率除受入射波长，照明相干度和物镜的数值孔径影响我，很大程度上还受物镜象差的影响，本文提出了一种定性分析测量物镜象左和加工装配误差对分辨率的综合影响的新方法。利用该方法对两不同物镜象差影响进行测试和分析并用这两物镜进行了曝光光刻试验，光刻试验地结果和测量分析的结果相吻合。
物镜象差对分辨率影响的一种测量分析法
【摘 要】
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物镜的分辨率除受入射波长，照明相干度和物镜的数值孔径影响我，很大程度上还受物镜象差的影响，本文提出了一种定性分析测量物镜象左和加工装配误差对分辨率的综合影响的新方法。
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金重点资助
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