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期刊论文
合成金刚石薄膜生长工艺的研究
合成金刚石薄膜生长工艺的研究
来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pangpanghai
【摘 要】
:
采用一种快速生长金刚石薄膜的直流等离子体弧焰合成法,进行生长金刚石薄膜的实验。讨论了生长金刚石薄膜时各种工艺条件对成膜形态的影响。SEM照片与拉曼光谱分析表明,在工艺条件
【作 者】
:
唐敦乙
刘志敏
【机 构】
:
上海交通大学,上海交通大学图象处理和模式识别研究所
【出 处】
:
上海交通大学学报
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
金刚石
薄膜
等离子体喷流
生长
diamond film
fast growth
arc discharge
plasma spray
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采用一种快速生长金刚石薄膜的直流等离子体弧焰合成法,进行生长金刚石薄膜的实验。讨论了生长金刚石薄膜时各种工艺条件对成膜形态的影响。SEM照片与拉曼光谱分析表明,在工艺条件合适时,可快速生长金刚石薄膜。
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