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介绍一种基于光驱聚焦检测技术的光触针式表面粗糙芳度测量系统。测量光束聚焦在被测表面上,当表面高度变化时,音圈电机驱动聚焦物镜移动,使光点始终聚焦在被测表面上,音圈电机的移动量就反映了表面高度的变化,该系统的垂直分辨力可达0.01μm,不仅适用于表面粗糙度测量,还可用于1mm范围内的相对长度测量。