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利用磁控反应溅射法制备了PET基TiO2薄膜,并用XPS进行了组成结构表征.发现溅射生成的薄膜上存在着多种价态的Ti,NO∶NTi偏离化学计量比2,即在溅射过程中还能生成Ti2O3及TiO等组分.研究了不同工作压力、不同溅射气体对溅射生成的PET基TiOx膜的各组分百分含量以及氧钛比的影响,并分析了产生这种结果的可能原因和影响因素.