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本文介绍了以ITO玻璃为衬底，在其导电面上依次旋涂teflon和SU-8光刻胶，利用光刻制备出栅格，在栅格中灌油并进行水下封装，制备出在直流电压控制下能够重复操作的电润湿显示阵列。
基于ITO衬底的电润湿显示阵列的制备
【摘 要】
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本文介绍了以ITO玻璃为衬底，在其导电面上依次旋涂teflon和SU-8光刻胶，利用光刻制备出栅格，在栅格中灌油并进行水下封装，制备出在直流电压控制下能够重复操作的电润湿显示阵列。
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院电子显微镜中心和人工微结构教育部重点实验室,东南大学物理系,武汉理工大学,南京晶奥微光电技术有限公司
【出 处】
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制造业自动化
【发表日期】
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2013年2期
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