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对退火前后氧化锌薄膜的结构特性、化学组分及化学价态，以及缺陷特性进行了详尽的研究，结果表明，低温热退火是改善氧化锌薄膜结构特性、化学组分及化学价态，并且减少缺陷的良好方法。
氧化锌薄膜热退火特性的研究
【摘 要】
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对退火前后氧化锌薄膜的结构特性、化学组分及化学价态，以及缺陷特性进行了详尽的研究，结果表明，低温热退火是改善氧化锌薄膜结构特性、化学组分及化学价态，并且减少缺陷的良好方
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系,东南大学电子工程系,四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1993年5期
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