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本文提出了超高真空大截面差分系统的分析计算方法,并对北京正负电子对撞机同步辐射X射线光刻光束线的差分抽气系统进行了计算与设计。
超高真空大截面差分系统的设计
【摘 要】
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本文提出了超高真空大截面差分系统的分析计算方法,并对北京正负电子对撞机同步辐射X射线光刻光束线的差分抽气系统进行了计算与设计。
【出 处】
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光学机械
【发表日期】
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1991年3期
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