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利用多弧离子镀技术,以乙炔和氮气为反应气体,在316 L不锈钢和单晶硅基体上设计3种不同的过渡层(无过渡层,Cr,CrN)制备CrCN涂层,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕仪、CSM划痕测试仪和UMT-3多功能摩擦磨损试验机等对3种涂层的微观结构、力学性能和摩擦学性能进行表征.结果表明: CrCN,Cr/CrCN及CrN/CrCN涂层的平均表面粗糙度分别为77.3 nm,74.5 nm及68.1 nm,整体表现出递减的趋势.CrCN,Cr/CrCN及CrN/CrCN涂层的结合力和硬