【摘 要】
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行波管（TWT）是真空电子器件中的重要一类,正在向高频段乃至太赫兹频段发展。由于器件尺寸与工作波长的共渡性,导致随着频段的提高,高频慢波互作用结构的尺寸越来越小;当太赫兹
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院高能物理研究所,北京大学
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行波管（TWT）是真空电子器件中的重要一类,正在向高频段乃至太赫兹频段发展。由于器件尺寸与工作波长的共渡性,导致随着频段的提高,高频慢波互作用结构的尺寸越来越小;当太赫兹频段时,折叠波导关键尺寸从毫米级减小到微米级,慢波结构的制造技术成为高频段行波管研发的关键技术之一。基于此,开展在玻璃wafer基体上采用紫外激光微加工技术制造微型慢波结构,文章对这种方法进行了初步探索,分析了不同频率下的激光光束对玻璃表面、盲槽底部、振镜接纹处和槽深宽的影响。
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