【摘 要】
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本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题。通过对介质层预先注入和存储适量的电荷,在该介质层中形成稳定的内建电势,这将优化
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61604039,61604040),至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)
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本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题。通过对介质层预先注入和存储适量的电荷,在该介质层中形成稳定的内建电势,这将优化MEMS固支梁的下拉操作,从而有效降低MEMS开关的驱动电压。此外,在开关制备完成后,仍可通过调控介质层中注入电荷的数目来调节内建电势大小,从而在不改变MEMS开关结构参数的条件下实现MEMS开关驱动电压的可重构功能。建立了该新型MEMS开关的解析模型,对该新型模型进行分析,并验证了模型的正确性。
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