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介绍了微波微电子机械开关(MEMS开关)的形式、物理特性,分析了其工作原理.文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式.最后,对微电子机械开关在MMIC中的发展前景作出了预测.
微波微电子机械开关
【摘 要】
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介绍了微波微电子机械开关(MEMS开关)的形式、物理特性,分析了其工作原理.文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式.最后,对微电子
【机 构】
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清华大学电子工程系,北京 100084信息产业部电子13所,石家庄 050051;
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年5期
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