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讨论了三甲基铟在光电新材料中的应用，同时介绍了三甲基铟在应用于ＭＯＣＶＤ工艺中质量输入过程中变化的原因及克服这些问题的方法。本文还介绍了新的有机铟源的制备及应用情况。
有机铟源的应用开发研究
【摘 要】
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讨论了三甲基铟在光电新材料中的应用，同时介绍了三甲基铟在应用于ＭＯＣＶＤ工艺中质量输入过程中变化的原因及克服这些问题的方法。本文还介绍了新的有机铟源的制备及应用情况。
【机 构】
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化工部光明化工研究所
【出 处】
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化工新型材料
【发表日期】
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1996年02期
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