基于线阵CCD的扫描镜角位置测量技术

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扫描转镜是现代光电系统中广泛应用的装置。扫描转镜的位置需要精确控制,线阵CCD探测器具有像素高,响应频率高等特点。介绍了以TCD1501C作为光学传感器,利用可编程逻辑器件作为处理单元的角位置测量设计,包括驱动时序、视频输出差分电路、CCD信号检测处理等设计。实现了精度可达到0.02mrad的小角度测量。 Scanning rotary mirrors are widely used devices in modern photovoltaic systems. The position of the scanning mirror needs to be precisely controlled. The linear CCD detector has the characteristics of high pixel height and high response frequency. Introduced the TCD1501C as an optical sensor, the use of programmable logic devices as the processing unit of the angular position measurement design, including the drive timing, video output differential circuit, CCD signal detection and processing design. Achieve the accuracy of up to 0.02mrad small angle measurement.
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