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微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计
微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:antonw1
【摘 要】
:
微机械振动陀螺是近几年发展起来的新型惯性元件,其误差源主要有微机械结构的 Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等,这些误差严重影响陀螺仪的精度.本
【作 者】
:
李文望
孙道恒
【机 构】
:
厦门大学机电系
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
微陀螺
机械耦合误差
悬浮效应
隔离耦合
振动陀螺仪
结构设计
micromachined gyroscopemechanical coupling error
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微机械振动陀螺是近几年发展起来的新型惯性元件,其误差源主要有微机械结构的 Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等,这些误差严重影响陀螺仪的精度.本文提出了单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案,有效减小机械耦合误差,提高精度.
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