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分析指出耗尽层内施主浓度Nd、界面受主态密度Ns和界面能级深度Es是影响ZnO压敏陶瓷电性能的重要参数。Nd与体内原子缺陷有关，室温下主要取决于电离的浅能级本征和非本征施主Zn^.i,Zn^..i和Al^.Zn，Ns和Es与界面原子缺陷密度和性质有关。本征界面缺陷V'Zn和V"Zn对界面受主态形成起基本作用；偏析于晶界的大离子半径的Bi和Ba以及界面上的化学吸附氧O^-和O^2-对提高Ns和Es起关键作用；易变价过渡元素Mn,Co和Ni对进一步提高受主态密度起重要作用；Sb通过生偏锑酸钡