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本文首次给出了用直线法对有限厚度平面多导体互连线系统进行静态参量提取的方法。其关键之处是如何处理常数边界条件，以及非齐次常数微分方程组的去耦问题。在对定解问题求解之后，利用电场分布可以求得导体侧壁上的电荷的分布。从而得到有限厚度多介质层，多层体互连线的分布电容矩阵。
有限厚度的平面型多导体互连线系统静态参量的直线法提取
【摘 要】
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本文首次给出了用直线法对有限厚度平面多导体互连线系统进行静态参量提取的方法。其关键之处是如何处理常数边界条件，以及非齐次常数微分方程组的去耦问题。在对定解问题求解
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1998年2期
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