【摘 要】
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采用两种有机金属化合物为起始原料，用溶胶─凝胶法通过合理控制反应条件，制备出β－ＳｉＣ 凝胶粉体，然后在 Ａｒ气氛、９００～１３００℃下热处理，制备出了纯度非常高、颗粒尺寸在１０ｎｍ左右的β－ＳｉＣ纳米粉体。产物纯
【机 构】
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湖北工学院电气工程与计算机科学系!华中理工大学电子科学与技术系,湖北武汉430074,华中理工大学电子科学与技术系!湖北武汉430074,湖北工学院电气工程与计算机科学系!湖北武汉430074
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采用两种有机金属化合物为起始原料，用溶胶─凝胶法通过合理控制反应条件，制备出β－ＳｉＣ 凝胶粉体，然后在 Ａｒ气氛、９００～１３００℃下热处理，制备出了纯度非常高、颗粒尺寸在１０ｎｍ左右的β－ＳｉＣ纳米粉体。产物纯度达到９９．９２％。利用Ｘ－ｒａｙ粉晶衍射和透射电镜（ＴＥＭ）结合Ｒａｍａｎ光谱对制得的粉体进行了形貌、结构及颗粒尺寸系统研究。讨论了反应温度对β－ＳｉＣ纳米粉体颗粒生长机制的影响。
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